晶圆搬运手臂用什么陶瓷材料性价比更高？

19703993662021.12.25回答提问者采纳这种机械手臂一般是用氧化铝或者碳化硅陶瓷来做的。碳化硅陶瓷加工难度大些材料本身的价格也高些所以要说性价比，氧化铝应该更好一些，不过这种需要用高纯度的氧化铝陶瓷做才好，最好是997以上的纯度的。要想有好的加工精度选择鑫腾辉陶瓷专用雕铣机，再配合磨床应该可以把精度控制在一条以内，并且只有老师傅才搞得定。