半导体陶瓷吸盘是如何做出来的？

用户1***82022.08.31回答提问者采纳半导体陶瓷吸盘，加工起来还是比较有难度的，需要对陶瓷材料进行微孔加工，还需要对陶瓷进行开槽，这就需要使用陶瓷专用的雕铣机来进行加工了。另外还要配合磨床来进行平面度的加工

用户8***52022.08.30回答（1）机械夹持方法采用机械活动夹钳来夹持晶圆，等到加工完毕后再将夹钳松开取出晶圆。但晶圆对比与一般的机械加工件更加脆弱并容易发生翘曲现象，同时对加工精度也要求更高。这种方法会使晶圆的边缘处造成损伤，同时很容易翘曲对其加工精度有很大影响。（2）石蜡粘结方法此方法将加热熔化的粘结剂渗入到晶圆与夹具之间，通过对晶圆加压使其可以平整地固定在基板上。石蜡粘结法的优点在于，石蜡柔软的性质可以保护晶圆不受损伤，基本无变形，加工后的残余变形也很小，可使晶圆具有很高的平面度，且加工精度较高。但此方法的缺点是，在整个夹持过程需要对石蜡进行加热、粘结、剥离及清洁，效率很低，同时粘结剂会对晶圆的清洁度造成较大影响，并且很难保证石蜡粘结层的均匀性并保证无气泡。（3）真空吸盘真空吸盘最早是用来在平面磨床中夹持非金属工具的，这种真空吸盘由中间的多孔陶瓷和边缘的密封环组成。工作时利用多孔陶瓷上小孔将晶圆与陶瓷表面之间的空气抽出，晶圆由于负压被吸附在吸盘表面，从而固定。等到加工结束后，内部的等离子水会从陶瓷表面孔内流出，使晶圆较好的剥离且同时清洗表面。虽然真空吸盘在精密磨削加工中应用广泛，但这种方法明显的缺陷是，当晶圆被真空吸盘吸附在吸盘表面时，晶圆会由于空气压力或者有微小颗粒吸入使局部变形，从而影响表面平整度，使加工精度下降。另外，晶圆的一些加工步骤需要在真空环境下进行，而真空吸盘在真空环境下则完全无法工作，这种情况下只能选择其他的夹持方式来固定晶圆。

闪耀Ant--乐小虎2022.08.30回答半导体陶瓷吸盘